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          中科院微电子台式匀胶机/旋涂仪/涂胶机

          更新时间:2021-12-27

          简要描述:

          我研究室生产的KW型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A型和KW-5型。

          产品主要特点

          1、开关电流调速,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准。

          2、转速在500~8000转/分范围内非常稳定。

          品牌其他品牌产地类别国产
          应用领域电子

          中国科学院微电子研究所 KW-4A型台式匀胶机/旋涂仪/涂胶机

          产品简介 

          我研究室生产的KW-4A型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A型和KW-5型。 

          产品主要特点 

          1、开关电流调速,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准。 

          2、转速在500~8000转/分范围内非常稳定。   

          3、采用双转速。在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动转换到高速运转。两种转速及相应的时间分别可调,时间分别控制在1~18秒和3秒~1分钟。 

          4、具有定时功能。  

          5、测速采用光电的办法,产生光电脉冲,由晶体分频测速准确性高。  

          6、"吸片"采用电磁阀控制气路,一个气泵可同时带几台匀胶机工作,适合流水线的工艺,提高了效率。   

          7、在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音低。 

          性能指标:

          参数

          指标

          调速范围和匀胶时间

          Ⅰ档调速范围:500-2000转/分Ⅰ档匀胶时间:2-18秒

          Ⅱ档调速范围:1300-8000转/分Ⅱ档匀胶时间:3-60秒

          适用

          Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等匀胶

          电机功率

          40W

          LED数字显示

          转速稳定度:±1%,胶的均匀性:±3%

          真空泵抽气速率

          ≥60升/分

          仪器尺寸

          210×220×160mm

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